A-Si Aktif Malzeme ile 384x288 Formatlı 25 ?m Piksel Boyutlu Prototip Dedektör Geliştirilmesi
[ X ]
Tarih
2018
Dergi Başlığı
Dergi ISSN
Cilt Başlığı
Yayıncı
Erişim Hakkı
info:eu-repo/semantics/openAccess
Özet
Mikrobolometre tipi sogutmasız kızılötesi dedektörler, askeri amaçlı da kullanılabilmesinden ötürü, kritik bir teknoloji olarak sınıflandırılmaktadır. Dolayısıyla, dedektörlerin algılayıcı malzeme teknolojisi ve piksel üretim detaylarına dair bilgiler ticari gizli oldugu için yayınlanmamaktadır ve konu hakkında, akademik literatürdeki bilgi kısıtlıdır. Söz konusu teknolojinin yurtiçinde gelistirilebilmesi için temel ar-ge niteliginden baslayarak, ürünlestirme ve seri üretim dâhil birçok çalısma yürütülmektedir. Ancak, teknoloji gelisimine devam etmektedir ve bu gelisim genel anlamda, dedektör formatının büyütülmesi ve piksel boyutunu küçültülmesi yönünde olmaktadır. Piksel boyutu küçüldükçe, dedektör hassasiyeti düsmektedir. Dolayısıyla, dedektörün algılama performansından feragat etmemek için yeni dedektör malzemeleri ve piksel yapıları hakkında arastırma yapılması geregi ortaya çıkmıstır. Dünyadaki öncü çalısmaları yakalayarak, teknoloji gelisiminin es zamanlı olarak devamlılıgını saglayabilmek için de çalısmalara devam edilmesi gerektigi anlasılmaktadır. Dedektör algılayıcı malzemesinin, düsük elektriksel gürültü seviyesine ve yüksek mutlak TCR (Temperature Coefficient of Resistance) degerine sahip olması, sogutmasız kızılötesi dedektörlerin performansını dogrudan etkilemektedir. Bu alanda kullanılabilecek malzemelerin sınırlı olması sebebiyle, algılayıcı malzemenin özgün olarak gelistirilmesi, yüksek performanslı sogutmasız kızılötesi dedektörler için hayati önem tasımaktadır. Proje kapsamında, hâlihazırda mikrobolometre tipi sogutmasız kızılötesi dedektör teknolojisinde yogun olarak arastırılmakta ve kullanılmakta olan a-Si malzemesinin bolometrik özellikleri ve kaplama kosullarının bu özelliklere etkisi incelenmis, elde edilen uygun parametreler kullanılarak 384x288 format ve 25 ?m piksel boyutlu sogutmasız kızılötesi dedektör prototipi özgün bir tasarım ve süreç ile üretilmistir. Dünya literatürü incelendiginde, kullanılan a-Si malzemesi sadece o teknolojiye özgün piksel yapılarında kullanıldıgı görülecektir. Bu projede gelistirilmis olan a-Si malzeme teknolojisi ise daha önceden tasarımı ve üretimi gerçeklestirilmis piksel yapıları ile tamamen uyumludur ve her tür mikrobolometre yapısına kolay adapte edilebilecek özelliktedir.
Açıklama
15.07.2018
Anahtar Kelimeler
Termal Dedektör, Mikro-Elektro- Mekanik Sistem, Mikrobolometre, Sogutmasız Kızılötesi Dedektör, a-Si
